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无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准
1 为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求，必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。
2 检测测试设备：激光粒子记数器
3 检测周期：每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测
4 检测条件：静态洁净度测试
5 数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存，并在每个季末（或下季度初）给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。
6 各洁净区域洁净级别标准：按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。
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区域、系统名称 |
洁净等级标准 |
相当于ISO级别 |
等效于GB级别 |
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K-1系统 划片区域
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静态1万级
K-1系统改造前为静态10万级 |
CLASS 7
CLASS 8 |
CLASS 7
CLASS 8 |
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K-2系统 包封区域 |
静态30万级 |
CLASS 8．3 |
CLASS 8．3 |
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K-3系统 搪锡区域 |
静态30万级 |
CLASS 8．3 |
CLASS 8．3 |
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K-4系统 测试区域 |
静态30万级 |
CLASS 8．3 |
CLASS 8．3 |
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K-8系统 电镀区域 |
静态30万级 |
CLASS 8．3 |
CLASS 8．3 |
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现有其他空调系统 |
舒适性空调系统，无洁净要求 |
Not Applicable |
Not Applicable |
7 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等（包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等）执行公司厂务部相关SOP文件。
8 参考文件
² FSD-SOP-01 《供电操作指导书及规范制度》
² FSD-SOP-4-1 《AHU系统操作指导书》
² FSD-SOP-4-2 《洗气塔操作指导书》
² FSD-SOP-4-3 《锅炉操作指导书》
² FSD-SOP-4-4 《制冷机操作指导书》
² FSD-SOP-06 《厂务部安全操作规程》
² FSD-SOP-07 《设备维护保养流程》
² FSD-SOP-08 《消防系统操作指导书》
² FSD-SOP-12 《厂务部运行管理制度》
² FSD-SOP-13 《市政动力能源中断紧急应变计划》
² FSD-SOP-20 《厂务核心机组应急切换操作指导书》
² ATD1210C 《能源管理标准》
² JVP1301C 《公共设施管理规定》
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