洁净室(区)尘粒检测要点
表1: 洁净室(区)尘粒检测要点
参数指标
悬浮粒子
检测依据
JGJ71-90[1]、GB/T 16292-1996[2]
检测条件
1.风速或换气次数和静压差达到级别要求,温、湿度须达到规定的要求。
2.对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间≥10min后开始。
3.对非单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间≥30 min后开始。
采 样 点
位 置
1.采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置。
2.采样点多于5点时,也可以在离地面0.8m~1.5m高度的区域内分层布置,但每层不少于5点。
最少采样点数目和次 数
1.对任何洁净室(区),采样点的数目≥2个,总采样次数≥5次。每个采样点的采样次数可以>1次,且不同采样点的采样次数可以不同。
2.最少采样点数目可查表2。
采 样 量
最小采样量见表3。
结果报告
以检测区域的某个采样点的最大平均粒子浓度和全部采样点粒子浓度平均值的95%置信上限进行报告。
表2: 洁净室(区)尘粒检测的最少采样点数
面 积m2
洁 净 度 级 别
100
10 000
100000或300000
<10
2~3
2
≥10~<20
4
≥20~<40
8
≥40~<100
16
≥100~<200
40
10
3
≥200~<400
80
20
6
≥400~<1000
160
13
≥1 000~<2 000
400
32
2 000
800
200
63
表3 洁净室(区)尘粒检测的最小采样量
洁净度级别
采样量,L/次
≥0.5μm
≥5μm
5.66
—
2.83
8.5
100 000或300 000
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