静压差的测定:
①. 静压差的测定要求:
首先,静压差的测定是洁净区内所有的门全关闭状态下进行的。
第二,应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行,一直到直通室外的房间。
第三,测管口设置在室内不受气流干扰的地方。
第四,所测数据应精确到1.0Pa。
② 静压差的测定步骤:
首先,是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。
第二,用微压差计测量洁净室之间,洁净室和走廊之间,走廊与外界之间的压差。
第三,记录在案
③ 静压差测定用的仪器:
静压差测定一般采用的仪器为YJB-150型补偿式微压计,倾斜式压力计,精密指针式压力计或灵敏度小于1.0Pa的其它压力计。
④ 合格标准:
首先,不同级别的洁净室(区)与非洁净室洁净室(区)之间的静压差应不小于5Pa。
第二,洁净室(区)与室外的静压差应不小于10Pa。
第三,对于洁净度等级严于5级的单相流洁净室在开门时,门内0.6m处室内工作面的含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
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