1、洁净度万级(209E）：

对于0.5μm粒径的尘埃≤350颗/L；

5μm粒径的尘埃≤3颗/L；

其余参照GB50333-2002执行。 

2、物理微环境检测项目：

1）空气洁净度；

2）温、湿度；

3）高效过滤器面风速；

4）送风量；

5）空气压力差；

6）噪声声级；

7）换气次数：≥25次/h；

8）实验室自净时间：10000级少于30分钟。

9）其它技术指标。