洁净厂房是一个相对的密闭体，室内人员流动路线复杂，为了便于在事故情况下，人们能在最短的时间内撤离事故现场，保证生命安全，应设置供人员疏散照明。国家规范中规定“疏散指示标志宜放在太平门的顶部或疏散走道及其转角处距地面高度1米以下的墙面上，走道上的指示标志间距不宜大于20m。”、“通道上的疏散照明照度标准值，不应低于0.51x”《洁净厂房设计规范》中没有明确规定其照度标准，根据洁净厂房的特殊性，按0.51x的照度设置疏散照明有些偏低，还应当设置疏散通道照明灯，将照度提高到51x比较合适，洁净厂房一般为24小时三班工作制，疏散照明应选用“常明灯”方式。

　　专用消防口是供消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口。设置专用消防口是为了一旦发生火灾时使消防人员能够迅速有效地直接进入厂房的核心部位扑救，《洁净厂房设计规范》中规定“在专用消防口处应设置红色应急照明灯”。在实际工程中，多数设计者都能注意到疏散照明的设置应包括疏散指向标志灯和疏散出口标志灯的设置，但疏散通道照明灯的设置却被一些设计者所忽略，尤其是专用消防口常常被忽略红色应急照明灯的设置。

　　洁净厂房内应设置备用照明；备用照明是用以确保正常照明失效时能够继续进行正常活动的照明。对于设有柴油发电机装置的洁净厂房，备用照明电源可以由柴油发电机提供；对于没有柴油发电机装置的洁净厂房，备用照明的电源可以采用与正常照明的供电干线分别接自不同的变压器，或与正常照明的供电干线自变电所的低压屏上（或母线上）分开的方式。

　　洁净室内的备用照明应按比例均匀布置，其照度不应低于一般照明的10%，灯具可以选用与洁净室一般照明灯具型号相同，内带蓄电池的灯具，平时作为正常照明工作，停电时自动转入应急照明，这种方式功能独立、布线简单、应用灵活，受外接电源限制少。另一种目前很受青睐的方式，集中电源型应急照明，是由集中的蓄电池电源装置对分散的应急照明灯具（不带电池）进行供电，正常状态下由市供电，当市电停电时，自动强切至应急电源上。当市电恢复供电时，该电源装置自动转成市电供电。集中电源型应急照明的优点在于维护管理方便、寿命长、供电电压稳定能力强、保护功能完善，比柴油发电机起动快、占地小、环保。缺点需另布线路、不如自带电源型应急照明灵活、一旦出现故障影响范围大。与自带电源型应急照明相比的综合比价差不多，稍便宜，值得在洁净厂房设计中推广。