净化级别：

100级@≧0.3μm

净化标准：

美联邦标准209E

平均风速：

0.2-0.6M/S

气流形式：

竖直垂直流(30%-70% 废外排)

噪　　音：

<=60dB(A)

震　　动：

X.Y.Z方向均<=1um

外形尺寸：

(L)1450*(W)800*(H)2350[mm]

工 作 区：

(L)1150*(W)700*(H)700[mm]

光 照 度：

≧350LX

照　　明：

30W日光灯及紫外线灯各一套

电　　源：

200-250V/50-60Hz

峰值功率：

750W

重　　量：

510kg