洁净室特种设施的安装规范

（一）一般规定

1、 特种设施的安装施工，应符合下列规定：

 （1）相关的土建工程己验收合格，并办理交接手续；

  （2） 应按工程设计文件和相关设备出厂技术说明要求进行安装；

   （3）各种设备及其附件、材料（包括填充材料）已进行现场检查、检验，并应符合工程设计和设备技术要求。认真并进行进场记录。

2、 对气密性、渗漏性控制严格的特种设施的设备、附件等，安装前应严格检查密封状况，若发现异常，应与供货商共同检查，经确认不影响使用功能后才能进行安装。

3、 对特种设施的承压设备、附件，应具有压力试验、无损探伤等有效检验合格文件。无合格文件者，不得进行安装。

4、有爆炸危险或有毒的气体、液体、有机溶剂等相关的设备、附件，应具有有效检验的合格文件，不符合规定者不得进行安装。

5、 分类、分系统进行安装质量验收，一般宜与供应系统的试运转结合进行。

6、有防静电接地要求的设施，在安装就位或系统管道安装完成后进行可靠接地。

（二） 高纯气、特种气体供应设施的安装

1、 管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏性试验和纯度测试。

2、 高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的要求，

检查设备（包括填充的纯化材料等）、阀门和管件的完整性、密封性，并作检查记录。

3、纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定：

    （1） 搬入洁净室（区）前，应进行认真的清洁，符合要求后从规定的设备搬入口运入；

    （2） 整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并可靠固定；

     （3）设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，准确做好接管、接线定位；

     （4）就位后，水、电接口应按工程设计文件要求连接；

     （5）气体管道接口，应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后才能连接。

 4、高纯气体、特种气体系统的阀门箱、吹扫盘的安装，应符合下列要求：

      （1）检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书等，并作好记录；

     （2）安装位置应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并检查接管、接线方位的正确性；

      （3）气体管道接口，应在所在系统试运转合格后才能连接。

5、高纯气体、特种气体设施施工安装试运转的纯度测试，应符合下列要求：

      （1）纯度测试介质，宜采用工作气体进行；

     （2）测试气体的压力，宜与输送介质的设计压力相同；

    （3）测试气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处；

      （4）纯度测试过程，取样时间的间隔宜为4h左右；气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析；

      （5）当测试气体的进、出口的纯度及其杂质含量（一般以氧痕量浓度、水痕量浓度为代表）一致时，即认为纯度测试合格。

6、管路系统的试验应符合下列要求：

   （1）高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力，

均应按工程设计文件要求；

   （2）试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮或氦气；试验气体压力按规定逐步升至系

统强度试验压力后，保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝是否泄漏，

以不漏为合格；

   （3）气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系

统以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0.5％为合格。采用氦气为试验气体时，系统以

设计压力保持1h，检查泄漏率不超过0.5％为合格。若不合格，检查原因并进行完善后，再

进行泄漏量试验，直至合格为止；

   （4）管路系统的试验，一般均不包含纯化设备、特气柜和阀门箱等。

7、管路吹扫应符合下列要求：

    （1）应按气体品种、工作参数分系统分别进行吹扫；

   （2）管路系统应采用0.3.0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.31tm气体过滤器去除微粒；对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫；

（3）在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，以靶上未见微粒为合格；对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1％为合格。

（三）纯水供应设施的安装

1、纯水供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的要求检查、核对设备

（包括填充的材料、元件等）、阀门和管件的完整性、密封性，并作好检查、核对记录。

2、纯水管道及其阀门、附件的材质，应按工程设计文件和产品生产要求进行选择。

3、单体设备的搬运、就位应符合下列要求：

   （1）搬入洁净室（区）内的单体设备，应进行认真清洁后才能搬入；

（2）装有填料或元件的单体设备，应按要求的方向进行搬运、就位，不得倒置；

    （3）单体设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，正确进行定位。

 4、洁净室（区）内纯水末端处理设备的安装，应符合下列要求：

      （1）纯水管道接管，应在纯水系统安装后经试验及试运转合格后连接；

      （2）接管、接线后，应按工程设计文件和产品说明书进行试运转。

 5、药品和保健品等生产用纯水系统的安装，应符合下列要求：

     （1）根据使用特点和工程设计文件要求，准确选择管路材质、阀门、附件，并不得对水质产生污染和引起腐蚀或损伤；

    （2）系统安装完成后，按规定进行试验、试运转，合格后按使用要求进行清洗或消毒灭菌，达到规定指标后，宜循环待用。

  6、管道系统的试验、试运转，应符合下列要求：

（1）管道系统的试验应按工程设计文件要求进行水压试验。

（2）管道系统的试验、试运转，通常不包括末端处理装置等；

    （3）试验合格后，以同等水质的纯水进行清洗，直至在管路末端无杂质、污染物为合格；

    （4） 有特殊要求的纯水系统，应按设计要求进行脱脂、清洗、钝化、合格后，并按规定进行消毒灭菌，

  （5）纯水水质试验，以本系统同样水质的纯水进行试验，水质分析采样日应为水质要求最严格且距离最长的用户末端处：取样时间间隔为2-4h，以系统的始端、末端的水质相同为合格。

 7、管道清洗应符合下列要求：

      （1）管道清洗先以清洁水冲洗，末端检查无杂物后，以同等水质的纯水清洗；

     （2）清洗时，应关断所有接至单体设备的阀门，管道系统的过滤器滤芯应卸下，待清洗合格后原样恢

（四） 化学品供应设施的安装

1、 本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱、有机物质等化学品供应设备、输送管路系统的安装施工质量验收。

2、 化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求或合约规定检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并作检查记录。

3、 化学品供应设施中的各类泵的安装施工应符合现行国家标准《压缩机、风机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的规定。

4、 洁挣室（区）内化学品输送管道系统的阀门箱等的安装，应符合下列要求：

   （1）检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书，并作好检查记录；

   （2）就位安装应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并检查接管、接线方位的正确性；

   （3）各种管道的连接，应在所在系统吹扫或清洗合格后进行。

5、化学品供应设施的容器、管道及其阀门、附件的材质，应符合工程设计文件要求。

6、容器的搬运、安装就位，应符合下列要求：

  （1）搬入洁净室（区）前，应进行清洁，符合要求后从规定的搬入口运入；

  （2）容器搬运，应根据容器结构、规格尺寸及接管配置状况，进行可靠的固定，不得倒置；

  （3）就位前，检查基础平整度、高度，基础表面的水平度不得大于2%，标高偏差不大于2mm；

  （4）容器各接管中心与基础面上的基准线对准、测量，其允许偏差为3mm；

  （5）容器安装就位后的垂直度，不应大于2‰。

7、 化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVDF管等的管道系统安装施工见相关规定。

 8、 管道吹扫或清洗，应符合下列要求：

   （1）按各种化学品供应系统，分别在安装完成后分系统进行吹扫或清洗；

   （2） 吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水，吹扫介质压力为0.2-0.3MPa：吹扫管道应设置过滤精度严于0.单m的过滤器；

（3） 吹扫清洗时，应关断所有接至各类容器的阀门；管道系统的过滤器滤芯，流量计应卸下，待吹扫后按原样恢复；

  （4） 各系统的吹扫应反复多次冲击进行，吹扫时间不宜少于2.0h，并以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口，经5min后检查微粒状况。不合格时，继续吹扫，直至合格。

9、 管道系统的试验、试运转应符合下列要求：

    （1） 管道系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验，金属管道的试验方法参照现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的规定进行；

   （2）管道系统的试验、试运转，通常不包括各类容器、泵类等设各；

   （3）承压管道应进行强度和严密性试验，强度试验的试验压力为设计压力的1.5倍，严密性试验的试验压力为设计压力的1.15倍。非承压管道应进行满水试验；

（4） 试验合格后，以纯水或氮气进行清洗吹扫，直至末端无杂质、污染物为合格。